| 인원 | 시설 | 연구실적 | 관련특허 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 3명 | 부설연구소 설립 | 웨이퍼 배선막 도금설비용 Anode 개발 | 특허 제 10-1339003호 | |
| ISO PRO Valve (진공밸브 개발) | 특허 제 10-1771917호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅰ | 특허 제10-2492000호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅱ | 특허 제10-2496000호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅲ | 특허 제10-2770000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅰ | 디자인 제30-1162000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅱ | 디자인 제10-1177000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅲ | 디자인 제10-1178000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅳ | 디자인 제10-1179000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅴ | 디자인 제10-1222000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅵ | 디자인 제10-1223000호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅶ | 디자인 제10-1224000호 |