| 인원 | 시설 | 연구실적 | 관련특허 | 비고 |
|---|---|---|---|---|
| 3명 | 부설연구소 설립 | 웨이퍼 배선막 도금설비용 Anode 개발 | 특허 제 10-1339***호 | |
| ISO PRO Valve (진공밸브 개발) | 특허 제 10-1771***호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅰ | 특허 제10-2492***호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅱ | 특허 제10-2496***호 | |||
| 반도체 소재 부품 특허 Ⅲ | 특허 제10-2770***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅰ | 디자인 제30-1162***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅱ | 디자인 제30-1177***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅲ | 디자인 제30-1178***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅳ | 디자인 제30-1179***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅴ | 디자인 제30-1222***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅵ | 디자인 제30-1223***호 | |||
| 반도체 소재 부품 디자인 Ⅶ | 디자인 제30-1224***호 |